走査型プローブ顕微鏡エディタ

大面積コンタクトのような 3D 構造をシミュレーションする場合、デバイス表面上の x,z 点と電荷抽出コンタクトの間の抵抗をマッピングしたいことがよくあります。このツールは、電圧を z,x 領域にわたって系統的に印加し、空間内の電圧または抵抗プロファイルをマッピングするために使用されます。このツールは通常、 完全な 2/3D drift–diffusion シミュレーション、または 3D 大面積電気回路モデルとともに使用されます。このツールについての詳細は Section 12 にあります。