Псевдоморфна епітаксія та тензори деформації
Навчальні цілі. Після прочитання цієї сторінки ви повинні вміти:
- Визначте тензор деформації для псевдоморфного шару, нанесеного на підкладку.
- Виведіть співвідношення OghmaNano \(\varepsilon_{zz}=-2(C_{12}/C_{11})\varepsilon_{xx}\).
- Розрізняйте деформацію стискання та деформацію розтягування, а також їхній вплив на межі зон.
- Зрозумійте гідростатичні та дотичні (двовісні) складові деформації.
- Подивіться, як напруження впливає на гамільтоніани провідності та валентності.
Необхідні знання. вступ до квантових ям. Корисними будуть базові знання з теорії пружності (напруження, деформація, закон Гука).
Орієнтовний час читання: 20 хвилин.
Коли шар наноситься на підкладку з іншою сталою решітки, він деформується, щоб відповідати міжплощинній відстані підкладки. Ця псевдоморфна деформація не є чимось небажаним, від чого слід уникати: це інструмент проєктування, який змінює межі зон, розділяє зони важких і легких дірок і регулює довжину хвилі та поляризацію випромінювання. На цій сторінці наведено тензор деформації, який використовує OghmaNano, і пояснюється, як він впливає на гамільтоніани k·p.
1. Псевдоморфний ріст
За певної критичної товщини утворюється тонка, однорідна структура: її атомні ряди в площині вирівнюються з підкладкою, тому її кристалічна ґратка в площині набуває значень, що відповідають підкладці, водночас вона вільно розширюється у напрямку росту. Отже, напруження в площині становить
\[ \varepsilon_{xx} = \varepsilon_{yy} = \frac{a_{\text{sub}} - a_{\text{layer}}}{a_{\text{layer}}}, \]
де \(a_{\text{sub}}\) і \(a_{\text{layer}}\) – параметри ґратки ненапруженого субстрату та шару. Якщо природна відстань між атомами шару перевищує відстань між атомами субстрату (\(a_{\text{layer}} > a_{\text{sub}}\)), то напруга в площині шару є від’ємною, і шар зазнає стискаючої деформації; навпаки, якщо відстань між атомами субстрату перевищує відстань між атомами шару, то напруга в площині шару є додатньою, і шар зазнає розтягуючої деформації. Програма OghmaNano повідомляє про помилку, якщо відсутні параметри ґратки або пружні характеристики, оскільки в такому разі неможливо визначити напругу.
2. Деформація поза площиною.
Уздовж напрямку росту шар не зазнає обмежень, тому напруження, перпендикулярне до поверхні, відсутнє: \(\sigma_{zz}=0\). Для кубічного кристала, який росте на площині [001], закон Гука пов’язує нормальне напруження з деформаціями через пружні константи \(C_{11}\) і \(C_{12}\).
\[ \sigma_{zz} = C_{11}\varepsilon_{zz} + C_{12}(\varepsilon_{xx}+\varepsilon_{yy}) = 0. \]
Встановлення \(\varepsilon_{xx}=\varepsilon_{yy}\) та розв’язання дають співвідношення, яке використовує OghmaNano.
\[ \varepsilon_{zz} = -\,\frac{2 C_{12}}{C_{11}}\,\varepsilon_{xx}. \]
Отже, цей шар деформується в протилежних напрямках уздовж \(z\): шар, що зазнає стискальних деформацій (\(\varepsilon_{xx}\)<0\)) stretches along the growth direction (\(\varepsilon_{zz}>0), і навпаки. Для [001] напрямку росту важливими є компоненти зсуву. \(\varepsilon_{xy}, \varepsilon_{xz}, \varepsilon_{yz}\) всі вони дорівнюють нулю, тому деформація є виключно двовісною.
3. Гідростатичні та біаксіальні компоненти
Корисно розділити напруження на гідростатичну складову, яка змінює об’єм, і двовісну (дотичну) складову, яка змінює форму. Гідростатична складова є слідом.
\[ \mathrm{Tr}(\varepsilon) = \varepsilon_{xx}+\varepsilon_{yy}+\varepsilon_{zz} = 2\varepsilon_{xx}\left(1 - \frac{C_{12}}{C_{11}}\right), \]
яка змінює ширину забороненої зони за допомогою потенціалів деформації. Двовісна складова, пропорційна \(\varepsilon_{xx}-\varepsilon_{zz}\), не змінює об’єм, але усуває виродження валентних зон і, у випадку кремнію, розділяє провідні долини. Обидві складові діють через різні члени гамільтоніана, тому їх можна обговорювати окремо.
4. Вплив на краї смуги.
Гідростатична складова зсуває зону провідності на \(a_c\,\mathrm{Tr}(\varepsilon)\), а середню валентну зону – на \(a_v\,\mathrm{Tr}(\varepsilon)\), змінюючи ширину забороненої зони. Двовісна складова впливає на валентну зону через потенціали зсувної деформації \(b\) і \(d\) (для структури цинкбленду) і розщеплює важкі та легкі дірки. Зазвичай, стискальна деформація підіймає важку дірку вгору, сприяючи TE-випромінюванню; розтягувальна деформація може підіймати легку дірку вгору, сприяючи TM-випромінюванню. Точні оператори є темою сторінка Bir–Pikus, а те, як кожен розв’язувач використовує тензор деформації, узагальнено там і на сторінках моделей ( цинкбленду, вюрциту, кремнію, Луттінджера–Кона).
Примітка щодо реалізації. OghmaNano визначає деформацію в площині відносно сталої решітки шару, \(\varepsilon_{xx}=(a_{\text{sub}}-a_{\text{layer}})/a_{\text{layer}}\), і реалізує результат [001] \(\varepsilon_{zz}=-2(C_{12}/C_{11})\varepsilon_{xx}\), при цьому всі компоненти зсуву встановлюються в нуль. У деяких джерелах замість цього використовується нормалізація до сталої підкладки; різниця є другорядним параметром у разі невідповідності та незначною для типових деформацій, але варто враховувати це під час порівняння даних з іншими програмами.
Основні моменти/ключові аспекти
- Псевдоморфний шар відтворює міжплощинну відстань субстрату: \(\varepsilon_{xx}=\varepsilon_{yy}=(a_{\text{sub}}-a_{\text{layer}})/a_{\text{layer}}\).
- Нульове значення нормальних напружень дає \(\varepsilon_{zz}=-2(C_{12}/C_{11})\varepsilon_{xx}\).
- Деформація розщеплюється на гідростатичну частину, яка змінює об’єм, і біаксіальну частину, яка змінює форму.
- Гідростатичне напруження змінює зазор; біаксіальне напруження розщеплює валентні зони та кремнієві долини.